利用透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy TEM,台译穿透式电子显微镜)可以直接获得一个样本的投影。在这种显微镜中电子穿过样本,因此样本必须非常薄。组成样本的原子的原子量、加速电子的电压和所希望获得的分辨率决定样本的厚度。样本的厚度可以从数纳米到数微米不等。原子量越高、电压越低,样本就必须越薄。
通过改变物镜的透镜系统人们可以直接放大物镜的焦点的像。由此人们可以获得电子衍射像。使用这个像可以分析样本的晶体结构。
场发射扫描电子显微镜是一种比较简单的电子显微镜,它观察样本上因强电场导致的场发射所散发出来的电子。
假如观察的是透过样本的扫描电子的话,那么这种显微镜被称为扫描透射电子显微镜